池田屋精品！橫河電機(jī) OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

池田屋精品！橫河電機(jī) OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

池田屋精品！橫河電機(jī) OX400 低濃度氧化鋯氧分析儀

在半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)、電子元件焊接及惰性氣體純化等工藝中，精確測量低至ppm級別的氧濃度是保障產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。橫河電機(jī)（Yokogawa）OX400型低濃度氧化鋯氧分析儀，基于氧化鋯傳感技術(shù)與新型薄膜沉積工藝，實現(xiàn)從0-10 ppm至0-100 vol% O?的寬范圍測量，其傳感器壽命約為傳統(tǒng)產(chǎn)品的3倍，適用于對低氧濃度監(jiān)測有較高要求的各類電子與工業(yè)應(yīng)用場景。本文圍繞OX400的技術(shù)規(guī)格、功能配置及使用要點進(jìn)行說明。

一、 產(chǎn)品基本規(guī)格參數(shù)

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀的核心技術(shù)指標(biāo)如下：

二、 核心技術(shù)：氧化鋯傳感器與薄膜沉積工藝

OX400采用橫河電機(jī)自研的氧化鋯傳感器技術(shù)。其核心改進(jìn)在于采用新型薄膜沉積工藝，在氧化鋯元件與鉑電極之間形成分子級鍵合，有效防止層間剝離，使傳感器壽命延長至傳統(tǒng)產(chǎn)品的約3倍。傳感器采用圓柱形設(shè)計，樣氣可直接流經(jīng)傳感器內(nèi)部而無延遲，有利于實現(xiàn)快速響應(yīng)。該結(jié)構(gòu)同時降低了樣品氣流入時空氣滲入的影響，提升了低濃度（ppm級）測量的精度。

三、 采樣系統(tǒng)配置

OX400提供三種采樣方式選項，以適應(yīng)不同應(yīng)用場景：

• 泵式：內(nèi)置泵主動抽取樣氣，適用于樣氣壓力較低或需要穩(wěn)定流量的場合。

• 吸氣器式：利用壓縮空氣或氮?dú)庾鳛閯恿υ催M(jìn)行抽吸，無運(yùn)動部件，適合需要長期免維護(hù)運(yùn)行的場景。

• 無抽吸裝置：適用于樣氣本身具有一定壓力的場合。

四、 功能與自診斷能力

• 多量程與自動量程切換：支持自動量程（0-10 ppm至0-100%多檔自動切換）、固定量程及部分量程設(shè)定。

• 多流路切換（選配）：通過多選擇器功能，單臺分析儀可依次測量最多3個不同采樣點的氣體。

• 自診斷功能：可檢測傳感器錯誤、加熱器溫度異常、溫度傳感器斷線、設(shè)備溫度錯誤、CPU錯誤、風(fēng)扇停止等故障狀態(tài)，并以報警或錯誤代碼形式輸出。

五、 安裝與校準(zhǔn)要點

• OX400為臺式或面板安裝型，適用于室內(nèi)非防爆區(qū)域，環(huán)境溫度需控制在0-40℃范圍內(nèi)。

• 校準(zhǔn)支持3點校準(zhǔn)（10 ppm、1000 ppm、空氣）、2點校準(zhǔn)（用戶設(shè)定零點和量程氣）、1點校準(zhǔn)及空氣校準(zhǔn)等方式。

• 傳感器可在現(xiàn)場更換，降低了維護(hù)成本和停機(jī)時間。

• 樣氣需不含可燃性氣體、硅、腐蝕性氣體及液體，以避免損壞傳感器或影響測量精度。

六、 典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體與液晶制造：擴(kuò)散爐、干燥爐及液晶面板生產(chǎn)過程中的氧濃度控制。

• 電子焊接工藝：錫爐、回流焊爐的保護(hù)氣氛氧濃度監(jiān)測。

• 惰性氣體環(huán)境控制：手套箱、氣體純化生產(chǎn)過程中的微量氧測量。

• 粉塵防爆安全：粉末輸送過程中氧濃度的連續(xù)監(jiān)測，預(yù)防粉塵爆炸風(fēng)險。