池田屋現貨！東麗RF-400-01痕量氧分析儀

池田屋現貨！東麗RF-400-01痕量氧分析儀 

池田屋現貨！東麗RF-400-01痕量氧分析儀 

摘要： 在半導體制造、空分及高純氣體檢測等領域，痕量氧濃度的精準測量是保障工藝安全與產品純度的關鍵。池田屋全新引入的日本東麗（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析儀，采用高靈敏度電化學傳感器技術，檢測下限低至0.1ppm，支持0-10/0-100/0-1000ppm三檔量程切換，為高純氣體品質管控、惰性氣體純度分析及空分產品監測提供了高效、可靠的在線痕量氧檢測解決方案。

正文：

在半導體晶圓制造、高純氣體純化及空氣分離等精密工藝中，痕量氧含量的實時監控直接關系到產品良率與工藝安全。在半導體擴散爐、外延生長及氮氣/氬氣純化系統中，殘留氧即使僅為ppm級別，也可能導致晶圓氧化或摻雜失效。傳統氧傳感器在檢測下限、響應速度及長期穩定性方面存在局限。為應對這一挑戰，池田屋引入日本東麗（TORAY）RF-400-01型痕量氧分析儀。

RF-400-01由日本東麗（TORAY）研發制造，是一款基于高靈敏度電化學傳感器的痕量氧分析儀，專為惰性氣體（N?、Ar、He）中的微量氧檢測而優化設計。其測量范圍可在0-10ppm、0-100ppm、0-1000ppm三檔間靈活切換，低檢測限達0.1ppm，可滿足半導體級高純氣體（如電子級N?、H?、Ar）中痕量氧的精確測量需求。

在核心性能方面，RF-400-01具備快速響應特性，可實時捕捉氣體中氧濃度的瞬時變化，適用于在線連續監測與間歇采樣兩種模式。傳感器采用電化學測量原理，具有高選擇性和低交叉干擾特性，在惰性氣體背景下仍能保持穩定的測量輸出。測量精度為±1%FS（0-10ppm檔） 或±2%FS（0-100/0-1000ppm檔），確保測量數據的可靠性。

在結構設計方面，RF-400-01采用壁掛式緊湊設計，便于在設備機柜或生產現場靈活部署。采樣氣體入口壓力需穩定在約1bar（若現場采樣壓力異常需加裝限流裝置）。傳感器工作溫度范圍為0至+60℃，適配工業現場常規環境。輸出信號為4-20mA模擬量，便于與PLC、DCS及記錄儀等控制系統無縫集成。

行業觀察人士指出，在半導體與空分等對氣體純度要求嚴苛的行業中，痕量氧分析儀器的靈敏度與穩定性是保障工藝良率與生產安全的關鍵。池田屋此次引入的東麗RF-400-01痕量氧分析儀，以其0.1ppm高靈敏度、多量程靈活切換及快速響應特性等核心優勢，為國內高純氣體檢測與空分監測領域提供了可靠的痕量氧測量方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于提升半導體制造、高純氣體及空分等行業的痕量氧檢測精度與響應效率，為產品質量控制與安全生產提供堅實的技術支撐。