池田屋新品ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵

池田屋新品ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵

池田屋新品ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵

摘要： 在半導體、電子器件及實驗室的清潔真空應用中，結構緊湊且無需水冷氮氣的干式真空泵是降低運行成本與提升系統靈活性的關鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發科）CR16B型空冷多級羅茨干泵，排氣室無油、轉子非接觸運行，無需冷卻水和軸封氮氣，極限壓力≤3.0 Pa，可選配氣鎮機構處理水蒸氣，為load lock、真空干燥及鍍膜設備的清潔排氣提供了高性價比的解決方案。

正文：

在半導體鍍膜、Load Lock室抽空、真空干燥及實驗室潔凈氣體排氣等應用中，真空泵的可靠性、運行成本與安裝便利性直接影響設備的綜合效率。傳統水冷干泵需要配套冷卻水循環系統，且軸封氮氣消耗增加了長期運營成本，限制了設備的小型化與靈活部署。為應對這一需求，池田屋引入日本ULVAC CR16B型空冷多級羅茨干泵。

CR16B是ULVAC CR系列中*小排氣量的型號，屬于獲得國際標準（CE、cTUVus）的風冷式羅茨型干泵。其核心優勢在于排氣室內不使用真空油，轉子和汽缸為非接觸式結構，可長時間穩定運轉。該泵采用空冷設計，無需冷卻水，也不需要軸封氮氣，顯著降低了運行成本與配套設施的投入。

在核心性能方面，CR16B的最大排氣速度達16 m3/h（280 L/min），極限壓力≤3.0 Pa。電源支持單相100V、200V及三相200V，電機額定功率0.72 kW，靈活適配不同供電環境。吸氣口和排氣口均為KF25標準法蘭，重量僅35kg。

在功能擴展方面，CR16B支持選配氣鎮機構（針閥或電磁閥+針閥），最大水蒸氣處理量＜300 g/h，可用于真空干燥等水蒸氣排出場景。標準附件包括電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器及護套。用戶還可選配消音器（RS-01+套件D或EFS-11-NW25/2/2516簡易型消音器）及橡膠腳墊等配件。

在應用場景方面，CR16B廣泛適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，真空干燥等水蒸氣排出（需使用氣鎮），以及濺射、蒸鍍等真空設備的輔助排氣。

行業觀察人士指出，在清潔真空應用中，無需水冷和氮氣的空冷干泵正成為實驗室和小型設備的標準配置。池田屋此次引入的ULVAC CR16B空冷多級羅茨干泵，以其無油無氮設計、緊湊輕量結構及低運行成本等核心優勢，為國內半導體、電子器件及實驗室真空應用提供了高性價比的解決方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于提升清潔真空系統的經濟性與部署靈活性，為科研與先進制造提供堅實的技術支撐。