池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

摘要： 在半導體、電子器件及一般工業的真空系統中，干式真空泵運行產生的噪音是影響工作環境與設備布局的重要因素。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發科）RS-01型消音器套件，專為ULVAC多級羅茨型干泵設計，通過卡箍直接連接泵排氣口，可實現最高19dB(A)的顯著降噪效果，為潔凈真空環境提供了高效、便捷的噪音治理解決方案。

正文：

在半導體制造、電子器件生產及一般工業的真空系統中，干式真空泵在運行過程中產生的高頻排氣噪音，不僅影響操作人員的工作環境，還可能對精密設備的振動敏感度構成潛在干擾。傳統消音方案往往需要復雜的管路改造或額外占用空間。為應對這一挑戰，池田屋引入日本ULVAC RS-01型消音器套件。

RS-01屬于ULVAC RS系列消音器套件，是一款針對干式真空泵排氣噪音設計的專用消音器。其核心優勢在于可通過卡箍直接連接到泵的排氣口，無需復雜的管路改造，安裝簡便快捷。該消音器適用于CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等多款ULVAC干式真空泵型號。

在降噪性能方面，根據ULVAC測試數據（極限壓力狀態、導入稀釋氣體5SLM條件下），RS-01在50Hz電源頻率下可實現11dB(A)的降噪效果（從81dB(A)降至70dB(A)）；在60Hz電源頻率下可實現19dB(A)的顯著降噪效果（從88dB(A)降至69dB(A)）。這一降噪能力可有效改善真空泵運行時的噪音水平，為操作人員提供更舒適的工作環境。

在配套規格方面，RS-01套件A包含卡箍1個、O型圈1個，適配CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等泵型。排氣口法蘭為KF40標準接口，便于快速安裝。消音器本體材質為SUS304不銹鋼，表面經GBB處理，重量約4.1kg，結構緊湊耐用。

在應用場景方面，RS-01廣泛適用于半導體刻蝕與沉積設備、真空鍍膜系統、Load Lock室真空系統、真空干燥設備等需要使用ULVAC干式真空泵的各類工業真空系統的排氣噪音治理。

行業觀察人士指出，在工業真空系統設計中，排氣噪音的控制是改善工作環境與滿足環保法規的重要環節。池田屋此次引入的ULVAC RS-01消音器套件，以其最高19dB(A)降噪效果、簡便的卡箍安裝方式及廣泛的泵型適配性等核心優勢，為國內真空系統用戶提供了高效便捷的排氣降噪解決方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于改善真空泵運行環境噪音水平，提升工業現場的工作舒適度與設備布局靈活性，為制造與科研應用提供堅實的技術支撐。