池田屋新品ULVAC HR系列多級(jí)羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC HR系列多級(jí)羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC HR系列多級(jí)羅茨型干泵

摘要： 在CVD、刻蝕及ALD等半導(dǎo)體工藝中，副產(chǎn)物氣體在低溫區(qū)域易凝華結(jié)晶，導(dǎo)致真空泵堵塞與性能劣化。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛(ài)發(fā)科）HR系列多級(jí)羅茨型干泵，通過(guò)泵體高溫均熱化設(shè)計(jì)，將工藝中產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出，有效抑制結(jié)晶物附著，為半導(dǎo)體與電子器件制造領(lǐng)域的苛刻工藝提供了高可靠性的真空排氣解決方案。

正文：

在CVD（化學(xué)氣相沉積）、刻蝕及ALD（原子層沉積）等半導(dǎo)體制造工藝中，反應(yīng)副產(chǎn)物氣體在真空泵內(nèi)部的低溫區(qū)域極易發(fā)生凝華結(jié)晶（固化）。這些結(jié)晶物附著在泵內(nèi)壁及轉(zhuǎn)子表面，不僅會(huì)降低泵的排氣性能，嚴(yán)重時(shí)更會(huì)導(dǎo)致泵體卡死停機(jī)，是影響設(shè)備稼動(dòng)率與維護(hù)成本的常見(jiàn)難題。為應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC HR系列多級(jí)羅茨型干泵。

HR系列的核心優(yōu)勢(shì)在于通過(guò)高溫區(qū)域的泵體均熱化設(shè)計(jì)，使泵體內(nèi)部溫度場(chǎng)均勻分布并維持在一定高溫水平。這一設(shè)計(jì)可確保CVD、刻蝕等工藝中產(chǎn)生的升華性排氣物質(zhì)在通過(guò)真空泵時(shí)始終保持氣態(tài)，有效避免其在泵內(nèi)壁凝華結(jié)晶。對(duì)于溫度要求更高的工藝，ULVAC還提供可達(dá)到更高溫的UR系列。

在耐腐蝕與密封方面，HR系列對(duì)主要零部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理，顯著降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的化學(xué)侵蝕。泵體搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)，形成氦氣密封的密閉結(jié)構(gòu)，確保高安全性。產(chǎn)品已采取1000msec以內(nèi)的瞬停對(duì)策，有效應(yīng)對(duì)電力波動(dòng)對(duì)泵運(yùn)行的影響。

在規(guī)格方面，HR系列提供HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200五款型號(hào)，最大排氣速度覆蓋62至1012m3/h（50Hz），到達(dá)壓力HR60/90為5Pa，HR300及以上為0.67Pa。吸氣口提供VG50至VG100（KF50至KF100）多種接口，排氣口為KF40。該系列支持數(shù)據(jù)通信功能，可通過(guò)專用軟件讀取泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)數(shù)據(jù)及警告/報(bào)警履歷，實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，HR系列廣泛適用于CVD裝置、刻蝕裝置、灰化裝置及ALD/ALH等先進(jìn)薄膜沉積工藝的真空排氣系統(tǒng)。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體先進(jìn)制程中，真空泵對(duì)凝華性副產(chǎn)物的處理能力直接關(guān)系到設(shè)備稼動(dòng)率與維護(hù)周期。池田屋此次引入的ULVAC HR系列多級(jí)羅茨型干泵，以其泵體高溫均熱化、優(yōu)異耐腐蝕性及瞬停保護(hù)與通信監(jiān)控等核心優(yōu)勢(shì)，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體與電子器件制造領(lǐng)域的高溫工藝提供了可靠的真空排氣保障。

綜合來(lái)看，該系列產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升CVD、刻蝕及ALD工藝的真空系統(tǒng)可靠性，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程的穩(wěn)定運(yùn)行提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。