池田屋新品ULVAC LR60多級羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC LR60多級羅茨型干泵 

池田屋新品ULVAC LR60多級羅茨型干泵 

摘要： 在半導體PVD濺射、蒸鍍及Load Lock室抽空工藝中，快速穩定的真空排氣是提升產能與保障工藝節拍的關鍵。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發科）LR60型多級羅茨型干泵，通過低溫區域泵體均熱化設計，在PVD工藝之外尤其擅長縮短備料下料室排氣時間，配備氦氣密封與瞬停對策，為半導體與電子器件制造領域提供了高可靠性的真空排氣解決方案。

正文：

在PVD（物理氣相沉積）濺射與蒸鍍工藝中，以及半導體設備的Load Lock室（備料下料室）抽空環節，快速達到工藝所需真空度是縮短設備循環時間、提升產能的關鍵。傳統干式真空泵在追求高抽速的同時，往往面臨功耗高、耐腐蝕性不足等問題。為應對這一挑戰，池田屋引入日本ULVAC LR60型多級羅茨型干泵。

LR60通過低溫區域泵體均熱化設計，在PVD工藝之外，尤其適用于為了縮短排氣時間的Load Lock室抽空場景。其最大排氣速度在50Hz下達到62 m3/h（1030 L/min），60Hz下達到80 m3/h（1333 L/min），到達壓力為5.0 Pa。

在安全與可靠性方面，LR60搭載屏蔽電動機，形成氦氣密封的密閉結構，確保高安全性。產品已采取1000msec以內的瞬停對策，有效應對電力波動。主要零部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊表面處理，降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的化學侵蝕。支持數據通信功能，可通過專用軟件讀取泵運轉狀態數據及警告/報警履歷，實現集中監控。

在規格方面，LR60吸氣口為VG50（KF50），排氣口為KF40，重量180kg，電源為三相200VAC（50/60Hz），穩定時電流為6.9A（at 200V）。冷卻水要求一次壓力0.1~0.3MPa，出入口壓差>0.1MPa，流量>5.0L/min。氮氣吹掃的軸吹掃量為5SLM，氣鎮范圍為0~45SLM。

在應用場景方面，LR60廣泛適用于濺射/蒸鍍等PVD成膜裝置、Load Lock室快速抽空，以及渦輪分子泵/機械增壓泵的前級輔助排氣等場景。

行業觀察人士指出，在半導體與平板顯示制造領域，Load Lock室排氣速度直接決定設備產能與運行效率。池田屋此次引入的ULVAC LR60多級羅茨型干泵，以其62 m3/h抽速、低溫均熱化設計及高耐腐蝕性等核心優勢，為國內PVD與Load Lock應用提供了高效可靠的真空解決方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于提升PVD工藝與Load Lock室抽空環節的排氣效率與系統可靠性，為半導體與電子器件制造提供堅實的技術支撐。