池田屋新品ULVAC GR60A多級(jí)羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC GR60A多級(jí)羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC GR60A多級(jí)羅茨型干泵

摘要： 在真空干燥、氣體置換及成膜設(shè)備Load Lock室等一般工業(yè)應(yīng)用中，高負(fù)荷與反復(fù)抽氣工況對(duì)真空泵的耐久性提出嚴(yán)苛要求。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛(ài)發(fā)科）GR60A型多級(jí)羅茨型干泵，以久經(jīng)市場(chǎng)考驗(yàn)的LR/HR系列技術(shù)為基礎(chǔ)，針對(duì)一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔堅(jiān)固結(jié)構(gòu)，最大排氣速度達(dá)80 m3/h，支持大氣至真空的高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行，為潔凈氣體抽氣及Load Lock室應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)可靠的真空解決方案。

正文：

在真空干燥設(shè)備、真空氣體置換系統(tǒng)以及各類(lèi)成膜設(shè)備的Load Lock室（出入料室）等一般工業(yè)場(chǎng)景中，真空泵常面臨在大氣壓與真空之間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷工況。傳統(tǒng)干式真空泵在耐用性與成本之間難以取得平衡。為應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC GR60A型多級(jí)羅茨型干泵。

GR60A屬于ULVAC GR系列，該系列是基于市場(chǎng)業(yè)績(jī)和信賴(lài)度高的LR/HR系列設(shè)計(jì)的面向一般產(chǎn)業(yè)的簡(jiǎn)潔結(jié)構(gòu)泵。最大排氣速度在50Hz下達(dá)62 m3/h（1030 L/min），60Hz下達(dá)80 m3/h（1333 L/min），極限壓力為5.0 Pa，可滿足大多數(shù)一般產(chǎn)業(yè)真空工藝的需求。該泵可應(yīng)用于大氣與真空之間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，特別適用于追求高吞吐量的Load Lock室（裝載/卸載室）排氣。

在設(shè)計(jì)與配置方面，GR60A采用通用感應(yīng)電機(jī)（輸出2.2kW），支持多電壓兼容，并可選配防爆電機(jī)等特殊規(guī)格。吸氣口為VG50（或ISO63F），排氣口為NW40，重量128kg。泵體標(biāo)配DRP表面處理，主要零部件具備耐腐蝕性，延長(zhǎng)了泵的使用壽命。冷卻水流量要求>5.0L/min，氮?dú)廨S封流量固定為5.0SLM。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，GR60A廣泛適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，各種成膜設(shè)備的Load Lock室排氣，以及真空干燥、真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。

行業(yè)觀察人士指出，在一般工業(yè)真空應(yīng)用中，兼具高性能與簡(jiǎn)潔結(jié)構(gòu)的干泵是提升設(shè)備經(jīng)濟(jì)性與可靠性的關(guān)鍵。池田屋此次引入的ULVAC GR60A多級(jí)羅茨型干泵，以其高負(fù)荷耐久性、80 m3/h抽速及簡(jiǎn)潔堅(jiān)固設(shè)計(jì)等核心優(yōu)勢(shì)，為國(guó)內(nèi)一般產(chǎn)業(yè)真空應(yīng)用提供了高性?xún)r(jià)比的解決方案。

綜合來(lái)看，該產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升真空干燥、Load Lock及氣體置換等環(huán)節(jié)的真空系統(tǒng)可靠性，為一般工業(yè)生產(chǎn)與設(shè)備制造提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。